生物芯片高效点样微悬臂梁探针的微细加工

摘要:

生物芯片技术是 90年代初发展起来的一门新兴技术 ,将给 2 1世纪生命科学和医学研究带来一场革命。其中生物芯片中的微阵列分析最为关键 ,尤其受到人们的关注和研究。微阵列形成主要由各种探针接触式点样而得的。微机电系统(MEMS)的兴起和发展为点样探针的制备提供了简单而有效的微细加工技术。介绍了基于MEMS技术的SiO₂ 基微悬臂梁探针的设计和制备 ,并用这种探针进行Cy3标记链亲和素点样。结果表明这种微悬臂梁探针可以点样 2～3μm的样点 ,并且一次取样可以点样至少 3000个点,从而实现高价生物微阵列点样。

关键词:生物芯片; 微阵列; Cy3标记链亲和素; 微悬臂梁探针; 微细加工技术;

Abstract:

Key words:生物芯片; 微阵列; Cy3标记链亲和素; 微悬臂梁探针; 微细加工技术;